• PFK 测温硅片 TC wafer_rb88客户端

    PFK TC Wafer


    PFK是专业的 TC wafer 热博88商. 在半导体厂的生产工艺中, 有许多高温的工艺需要精准的温度控制, 来达到硅片薄膜厚度,应力等参数的要求.一个测量精度高的 TC wafer 就是必要的. PFK 产品在 thermocouple sensor 植入wafer 时使用专门的工艺, 降低传送过程中热传导的损失, 进而得到更精确量测值. PFK软件功能强大,可提供2D/3D图显示温度分布状况,长时间量测时,可提供各量测点的升温曲线图.使用部门是半导体厂的 PVD/CVD部门及RTP部门.量测点位数量提供客制化服务,欢迎来电咨询

    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 半导体热博88厂 Fab, PVD/CVD 部门及RTP 部门使用

    ○ 可提供不同尺寸及不同材质的wafer

    ○ Sensor数量可以客制化

    ○ 优异的软件功能, 可用图形及颜色显示温度分布状况

    ○ 数据可储存成.csv 格式

    ○ 长时间量测温度时, 可提供各个量测点的升温曲线图


    ◆ 优点


    ○ 半导体热博88厂 Fab, PVD/CVD 部门及RTP 部门使用

    ○ 可提供不同尺寸及不同材质的wafer

    ○ Sensor数量可以客制化

    ○ 优异的软件功能, 可用图形及颜色显示温度分布状况

    ○ 数据可储存成.csv 格式

    ○ 长时间量测温度时, 可提供各个量测点的升温曲线图


    PFK 测温硅片 TC wafer_rb88客户端
    硅片尺寸及型式 2,3,4,5,6,8,12 吋 / Flat, Notch
    量测点位数量 1 - 34 点 (12 吋)
    正面或背面量测 正面 / 背面
    热电偶型式 K, R, S others()
    线的总长度需求
    第一段线的线径 0.127mm, 0.075mm (RTP 建议)
    第一段线的长度
    第一段线的材质 Polyimide with teflon , Silica sleeve, Quaryz microtube (RTP 建议), None, Other()
    第二段线的长度
    第三段线的长度
    第三段线的材质 Polyimide with teflon , Silica sleeve, Quaryz microtube, None, Other()
    接头型式 Mini connector 2pin, U-shape terminal D-sub multiconnector, others()
    工艺温度
    应用 CVD, PVD, RTP, Photo, others()
    仪器需求 DAQ system (Data Acquisition system), Software(The-Map by PFK), others(), None()

    ◆ 应用



    • 硅片厂
    • 晶圆热博88厂
    • 封装测试厂
    • 半导体rb88手机版商
    • 应用于工厂内rb88手机版高温工艺温度的监控