便携式
在线式
液体
气体_rb88客户端
气流
纳米颗粒
清洁和个人防护
晶圆测量Kuroda
晶圆测量EH
携带式监测仪
在线监测系统
化学过滤和移动rb88手机版
TAU
产品污染分析
离子化rb88手机版
离子化监控
材料监控
静电事件
接地监控
静电防护产品
Hanwa
EOS控制
水平/震动/湿度/温度/颗粒
力量测量
机台rb88手机版维护保养
物料在线监测
Wafer temp PFK
VRS
机台rb88手机版
晶圆传输
FOUP/Cassettes/FOSP
Ultra tapes
包装材料
Metro 货架
AMC是非颗粒的化学污染物,通常是以气态或者悬浮气胶状存在,会对产品,制程,和rb88手机版产生负面影响.通常AMC分为四种: acid (酸), base (碱), dopants (金属掺杂), and condensable VOC (可凝结性有机污染物)